常规真空工艺对环境的要求

2012-04-26

常规真空工艺对环境的要求

所谓常规真空工艺系指没有特殊要求的真空工艺过程。这类真空装置(设备)对真空卫生的要求是:

①凡是处于真空状态或真空中的真空设备的零件或表面，都要求无积存的污染源。表面无尘埃、无铁屑、无锈蚀。

②真空设备的真空室表面要光滑，无松软组织和气孔，无死空间，内焊缝无影响真空的缺陷。

③高真空设备中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂。法兰、大门、观察窗的密封部位可涂以高真空油脂。

④无油超高真空系统(也称“清洁的超高真空系统”)应避免油蒸气影响工作介质的纯度、表面特性或工作性能，为某种工艺过程提供清洁的超高真空环境。

超高真空金属系统常用1 Cr18Ni9Ti为结构材料。有些部位可使用无氧铜、可伐合金、纯金、纯银、钨、祖、铝、钦等。绝缘材料常用玻璃和95真空瓷。而高分子聚合物由于可能分解出碳氢化合物污染系统，不能使用。饱和蒸气压较高的材料，如锌及其合金也不能使用。

超高真空系统中材料的出气是限制真空度上升的重要因素。一方面采用清洗、抛光、把零部件放在真空柜中保存或真空预热除气等方法降低出气速率，以改善材料的原始处理情况。另一方面还可以采用真空系统高温烘烤除气的办法，加速材料的出气过程，材料表面吸附和吸收的气体分子加速放出并被排出，冷却后材料的出气速率会降低几个数量级。因此，对于一般需要达到10-7Pa以下压力的真空系统，都必须烘烤除气。

⑤真空设备一般应在温度为15℃-30℃，相对湿度不高于70%的清洁的空气流通的环境中工作，冷却水进水温度不高于250℃。

真空设备所在的实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染，可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法，将气体排出室外。

上海帕特泵业制造有限公司

2012年4月26日星期四

下面给大家介绍一下上海帕特泵业制造有限公司生产真空泵相关产品：

1、SK系列水环真空泵 2、2BV系列水环真空泵 3、2X系列旋片真空泵 4、XD系列真空泵

5、SZB悬臂式水环真空泵 6、2XZ系列水环真空泵 7、SZ系列水环真空泵 8、2SK系列水环真空泵