常用真空系统在真空电子器件中的运用

2012-06-21

常用真空系统在真空电子器件中的运用

真空电子器件生产中应用的真空系统种类繁多。这里将根据真空系统的工作压强范围，介绍一些典型结构的常用的真空系统。

中、低真空系统是能获得10-3托以下真空度的系统，以旋片泵或吸附泵等为主泵，配以真空阀门、捕集器及管道等连接而成。这样组成的系统抽速一般较小，如要提高抽速可选用滑阀真空泵或罗茨泵机组。中、低真空系统结构简单、排气量大，主要用在各类电子管的预排，白炽灯与荧光灯的排气，真空储存柜和离子戮射镀膜机等装置中。

中、低真空系统的真空度可用火花检测器或放电管指示器来估计，也可用热传导真空计来测量。为了提高系统的工作真空度，减少旋片泵油蒸气和系统中水蒸气对真空系统的影响，在三通玻璃活塞上，侧接一只外冷式液氮冷阱。带液氮冷阱的真空系统工作真空度可以达到10-3托左右。若该系统要反复暴露大气，采用活性氧化铝挡油阱同样能达到上述目的，不过活性氧化铝要定期激活。

上海帕特泵业制造有限公司

2012年06月21日星期四

上海帕特泵业制造有限公司相关系列产品如下，更多详细内容可以点击产品中心查询：

1、EG系列离心泵 2、PTL系列单级单吸离心泵 3、SLB系列单级双吸泵 4、THY系列长轴液下泵

5、UHB-ZK系列氟塑料砂浆泵 6、IH系列标准化工泵 7、IHF系列氟塑料离心泵 8、QBK系列气动隔膜泵

9、ZX系列自吸泵 10、G型单螺杆泵 11、ZB3A型不锈钢转子泵 12、ZW系列自吸式排污泵

13、YW系列液下式排污泵 14、WQ系列潜水排污泵 15、ED卧式多级离心泵 16、CDL系列轻型立式多级泵

17、JWM机械隔膜计量泵 18、JYMZ液压隔膜计量泵 19、J-W系列柱塞式计量泵 20、J-X系列柱塞式计量泵

21、QJ系列深井潜水泵 22、CQ系列磁力泵 23、ZCQ系列自吸磁力泵 24、CQB-F系列氟塑料磁力泵

25、2X系列旋片式真空泵 26、2BV系列水环式真空泵 27、2XZ系列真空泵 28、SK系列水环真空泵